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隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。

近年來，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計，我國已有的特種氣體達260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)（吸附、膜分離）、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展，更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅1烷、磷烷等），特種氣體銷售，氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達國家相比，尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氫，氮，氦，ya而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，ya，氦可作為運載氣，特種氣體哪家好，保護氣和配制混合氣的底氣。

據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計，目前我國特種氣體年銷售額中，電子行業(yè)約占40%，石油化工約占40%；醫(yī)1療環(huán)保約占10%，特種氣體批發(fā)價格，其它約占10%。以電子氣體為例，電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國高新技術(shù)、新型能源、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展，將帶動電子特種氣體的發(fā)展。

目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司，西安特種氣體，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。外資通過收購、新設(shè)等方式建立氣體公司，占據(jù)著行業(yè)主導(dǎo)地位。2010年，德國林德公司、法國液化空氣集團、美國空氣產(chǎn)品、美國普萊克斯等設(shè)立的獨資與合資企業(yè)以32.38%的數(shù)量占據(jù)著國內(nèi)特種氣體市場65.90%的銷售市場和83.08%的利潤市場。

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